9月29日下午，嘉興市副市長倪滬平蒞臨我司考察調(diào)研，市政府副秘書長王榮、市科技局、南湖區(qū)政府、嘉興科技城相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)陪同調(diào)研。科民電子研發(fā)部負責(zé)人明帥強、市場部負責(zé)人郭耀亮、生產(chǎn)部負責(zé)人陶曉俊等參加接待并陪同調(diào)研。

  倪滬平副市長一行來到微電子儀器與設(shè)備工程中心及嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司，詳細聽取了負責(zé)人對中心的發(fā)展介紹、產(chǎn)品技術(shù)、市場情況，并重點參觀了集成電路科教融合儀器及教學(xué)創(chuàng)新示范平臺，平臺開設(shè)晶圓制造、光刻技術(shù)、二維薄膜的制備技術(shù)及實踐等系列課程，通過聯(lián)合培養(yǎng)方式已培養(yǎng)碩士研究生超過30名。

他對中心及科民電子的發(fā)展模式和成效表示充分的肯定，并指出，要發(fā)揮平臺公共服務(wù)作用，加強區(qū)域性集成電路領(lǐng)域企業(yè)、投資機構(gòu)、雙創(chuàng)平臺、科研院所等的交流互動、資源共享、合作共贏，推動區(qū)域集成電路產(chǎn)業(yè)的協(xié)同發(fā)展。

  嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司是中國科學(xué)院微電子研究所在嘉孵化的高端裝備制造企業(yè)，主要從事原子層沉積（ALD）設(shè)備、集束型薄膜沉積系統(tǒng)（Cluster System）、紫外 LED 光刻機（Lithography）、反應(yīng)離子刻蝕機（RIE）等高端半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。公司所研發(fā)的集成電路高端裝備應(yīng)用于尖端科技，助力客戶進行高尖端科學(xué)研究，客戶包括清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、中科院半導(dǎo)體研究所等國內(nèi)科研單位。

  產(chǎn)品成功通過大型微電子、MEMS 制造企業(yè)產(chǎn)線驗證，成功應(yīng)用于高新產(chǎn)業(yè)，成為國內(nèi)知名企業(yè)主力產(chǎn)品線ALD 工序唯一設(shè)備供應(yīng)商，是國內(nèi)首個進入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場的原子層沉積機型，打破了進口設(shè)備在產(chǎn)業(yè)化市場壟斷地位，成功應(yīng)用到中芯國際、杭州士蘭微、北方夜視，協(xié)鑫納米等企業(yè)。