科民電子集成電路科教融合全套設(shè)備助力教學(xué)模式創(chuàng)新

3月24日，我司參加“國(guó)科雁棲科創(chuàng)沙龍”高端科學(xué)儀器國(guó)產(chǎn)化暨研產(chǎn)用實(shí)踐路徑研討會(huì)，并做題為“集成電路教學(xué)創(chuàng)新模式”的報(bào)告。

          報(bào)告中詳細(xì)介紹了我司研發(fā)生產(chǎn)的國(guó)際首創(chuàng)集成電路科教融合全套裝備主要包括：曝光機(jī)、高密度等離子體刻蝕機(jī)、反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、磁控濺射、原子層沉積、等離子體氣相沉積等設(shè)備，具有安全可靠、可操作性強(qiáng)、低成本、易維護(hù)等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)從光刻到薄膜沉積的工藝教學(xué)與開(kāi)發(fā)。