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科民電子推出新一代ALD設(shè)備-固態(tài)源ALD
[薦]

科民電子推出新一代ALD設(shè)備-固態(tài)源ALD

  • 分類:公司新聞
  • 發(fā)布時(shí)間:2022-04-02
  • 訪問量:0

【概要描述】嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設(shè)備,攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,固態(tài)ALD設(shè)備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現(xiàn)優(yōu)異。

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科民電子推出新一代ALD設(shè)備-固態(tài)源ALD

【概要描述】嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設(shè)備,攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,固態(tài)ALD設(shè)備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現(xiàn)優(yōu)異。

  • 分類:公司新聞
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科民電子推出新一代ALD設(shè)備-固態(tài)源ALD

嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設(shè)備,攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,固態(tài)ALD設(shè)備在沉積Ir、FeCo、Ni、CuRu、LaSr等薄膜上表現(xiàn)優(yōu)異。

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