近期，嘉興科民電子創(chuàng)始人、董事長，微電子所微電子設備技術研究室主任夏洋、微電子所陳寶欽、解婧等申報的成果《集成電路科教設備研發(fā)和科教融合模式創(chuàng)新與實踐》獲評“2016年中國科學院教育教學成果特等獎”。這是本次特等獎的唯一獲得者。

圖1. 科研、教學用雙腔室PEALD設備

　　中國科學院教育教學成果獎是由中國科學院前沿科學與教育局組織，經中國科學院大學初選推薦、專家評審委員會評審、中國科學院院長辦公會審核批準的院級教育教學成果最高獎，每4年評選1次。申請該獎項的成果應經過2年以上實踐檢驗并取得成效，這意味著科民電子原子層沉積機在國內處于領先水平。

圖2. 某款定制化科研用ALD設備

　　科民電子董事長夏洋等開發(fā)了國際上首套集成電路科教融合設備（以科民ALD系列原子層沉積機為基礎），具有安全、可操作性強、低成本易維護、多視窗一體化設計等方便教學的特點，實現(xiàn)了從被動“參觀實踐”到主動“動手實驗”的教學模式新，并在長三角等培訓基地應用示范，在全國產生了重大影響。

圖3. 學生在科民長三角培訓基地進行動手實驗

　　科民電子始終秉持科技為民的宗旨，以客戶需求為導向。近年來，通過參與大院名校、科教融合等項目，推出了一系列的科研、教學用原子層沉積機，助力客戶科研、教學，與客戶共創(chuàng)佳績。